日本napson高規(guī)格半自動(dòng)四探針電阻/比電阻/薄層電阻測(cè)量?jī)xRT-3000 / RG-2000（RG-3000）

可根據(jù)客戶要求進(jìn)行各種定制

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 具有醉佳電阻測(cè)量范圍的4探針法測(cè)量?jī)x
• 測(cè)量模式可編程和圓形/方形測(cè)量兼容的繪圖軟件
• 自檢功能，厚度/外圍位置/溫度補(bǔ)償功能（用于硅）
• 根據(jù)電阻范圍從兩種類型的測(cè)試儀中選擇
• （RT-3000（S）：寬范圍的測(cè)量范圍，RT-3000（H）：高阻的測(cè)量范圍）

測(cè)量規(guī)格

測(cè)量目標(biāo)

• 與半導(dǎo)體/太陽能電池相關(guān)的材料（硅，多晶硅，SiC等）
• 新材料/功能材料（碳納米管，DLC，石墨烯，銀納米線等）
• 導(dǎo)電薄膜相關(guān)（金屬，ITO等）
• 擴(kuò)散樣本
• 硅基薄膜（LTPS等），IGZO
• 硅基外延離子注入樣品
• 其他（*請(qǐng)與我們聯(lián)系）

測(cè)量尺寸

?8英寸，或?156x156mm 

-選項(xiàng)（兼容大直徑尺寸：RG-3000型）：?12英寸，?210 x 210毫米

測(cè)量范圍

①RT-3000（S）；
[電阻（比電阻）]100μ至1MΩ·cm 
[片材電阻] 1m至10MΩ/ 
sq②RT-3000（H）; 
[片材電阻] 10m至1GΩ/ sq

映射圖像

 日本napson高規(guī)格半自動(dòng)四探針電阻/比電阻/薄層電阻測(cè)量?jī)xRT-3000 / RG-2000（RG-3000）