半導(dǎo)體/液晶/電子元件相關(guān)應(yīng)用的氧分析儀
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
最多可同時(shí)測量 8 個(gè)點(diǎn)
可以顯示從 ppm 級到 100% 的各種濃度。
適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等上。
傳感器為直插式(NW 法蘭用于真空 16/25/40)
高度耐用的傳感器采用特殊涂層,以進(jìn)一步提高耐用性。
測量原理 | 氧化鋯濃縮電池供電 | ||
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形狀 | 分離式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直插式) | ||
顯示方式 | 數(shù)字4位顯示(濃度顯示) | ||
測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自動(dòng)量程 | ||
重復(fù)性 | 在 ± 0.5% FS 0-1% 范圍內(nèi)或更多 ± 1% FS 或更少或 ± 0.1ppm更大 0-1% 范圍小于0-1ppm,atm 范圍超出保證濃度范圍 | ||
測量點(diǎn)數(shù) | 1-8 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 10 -3~ 200 KPa(絕壓) | |
流量 | 0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min(自然擴(kuò)散狀態(tài)的測量) | ||
濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 | ||
溫度 | 0-100℃ | ||
其他 | 不得含有腐蝕性氣體(氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等)、含有機(jī)硅的氣體、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。 | ||
比較氣體 | 大氣層 | ||
錄音機(jī)輸出 | 僅傳輸輸出 | ||
傳輸輸出 | RS-232C | ||
報(bào)警輸出 | 沒有任何 | ||
熱身時(shí)間 | 6分鐘內(nèi) | ||
尺寸 | MS-500(控制器) | 92 (W) x 44 (H) x 120 (D)(不包括突出部分) | |
MS-510(轉(zhuǎn)換器) | 100 (W) x 40 (H) x 88 (D)(不包括突出部分) | ||
傳感器單元 | SD16NW | 全長100mm(感應(yīng)部分Φ11×39,本體部分Φ40×51) | |
SD25NW | 全長100mm(感應(yīng)部分Φ11×42,本體部分Φ40×48) | ||
SD40NW | 全長100mm(感應(yīng)部分Φ11×41,本體部分Φ40×49) | ||
大量的 | MS-500(控制器) | 約0.6Kg | |
MS-510(換能器) | 約0.5kg | ||
傳感器單元 | SD16NW | 約0.2Kg | |
SD25NW | 約0.2Kg | ||
SD40NW | 約0.35Kg | ||
外部連接 | 真空法蘭之一(NW16、25、40) | ||
使用的電源 | 24VDC ± 10% |
可以顯示從測量的ppm 級到 100% 的廣泛濃度范圍。
提高傳感器的耐用性
氧傳感器經(jīng)過特殊處理以提高其耐用性。
交流寬電源 AC100-240VAC (LC-450A)
* LC-450D由24V DC驅(qū)動(dòng)
緊湊且易于安裝
深度比我們的傳統(tǒng)型號更短,并且不占用太多空間。
符合 RoHS 指令的產(chǎn)品
CE標(biāo)志自我聲明產(chǎn)品
EN61010-1:2002、EN61326:+A3:2003
測量原理 | 氧化鋯濃縮電池供電 | ||
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形狀 | 桌面型/面板安裝型 | ||
顯示方式 | 數(shù)字4位顯示(濃度顯示) | ||
測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自動(dòng)量程 | ||
重復(fù)性 | ± 1% FS 0-1ppm內(nèi),atm范圍超出保證濃度范圍 | ||
抽樣方法 | 內(nèi)置泵連續(xù)吸入型 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 加壓30KPa以下 | |
流量 | 1,000-2,000 毫升/分鐘 | ||
濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 | ||
溫度 | 0-50℃ | ||
其他 | 不得含有腐蝕性氣體(氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等)、含有機(jī)硅的氣體、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。 | ||
比較氣體 | 大氣層 | ||
錄音機(jī) 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 在 4-20mA 和 0-20mA 之間切換(可選 0-10V) 絕緣,負(fù)載電阻 550Ω 或更少 記錄儀輸出范圍是滿量程,線性輸出到氧氣濃度 | |
輸出范圍 | 0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動(dòng)/固定量程 | ||
傳輸輸出 | RS-232C | ||
報(bào)警輸出 | FAIL(設(shè)備錯(cuò)誤) | 1分 | 無電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC/AC以下,0.5A以下 因設(shè)備異常接點(diǎn)閉合(接點(diǎn)動(dòng)作可變更) |
ALM(濃度報(bào)警) | 2 分(高 / 升) | 非電壓觸點(diǎn),觸點(diǎn)容量30VDC / AC或更少,0.5A或更低 時(shí)產(chǎn)生警報(bào)(接觸操作可改變)觸點(diǎn)閉合 | |
RDY(預(yù)熱信號) | 1分 | 無電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC/AC以下,0.5A以下
| |
MRK(范圍標(biāo)記)輸出 | 2分 | 無電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC/AC以下,0.5A以下 | |
熱身時(shí)間 | 5分鐘內(nèi) | ||
尺寸 | 身體 | 210 (W) x 134 (H) x 300 (D) mm(不包括突出部分) | |
大量的 | 約6kg | ||
氣體 連接口 | 進(jìn)口 | RC1 / 4 | |
旁路輸出 | RC1 / 4 | ||
出口 | RC1 / 4 | ||
使用的電源 | 100-240VAC, 50VA (穩(wěn)定: 35VA) 50Hz / 60Hz |
測量原理 | 氧化鋯濃縮電池供電 | ||
---|---|---|---|
形狀 | 桌面型/面板安裝型 | ||
顯示方式 | 數(shù)字4位顯示(濃度顯示) | ||
測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自動(dòng)量程 | ||
重復(fù)性 | ± 1% FS 0-1ppm內(nèi),atm范圍超出保證濃度范圍 | ||
抽樣方法 | 內(nèi)置泵連續(xù)吸入型 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 加壓30KPa以下 | |
流量 | 1,000-2,000 毫升/分鐘 | ||
濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 | ||
溫度 | 0-50℃ | ||
其他 | 不得含有腐蝕性氣體(氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等)、含有機(jī)硅的氣體、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。 | ||
比較氣體 | 大氣層 | ||
錄音機(jī) 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 0-10VDC,絕緣,負(fù)載電阻600kΩ或多個(gè) (可選:4-20mA的DC,絕緣,負(fù)載電阻550Ω或更?。?/span> 記錄器輸出范圍是滿量程和線性輸出到氧濃度 | |
輸出范圍 | 0-100%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動(dòng)/固定量程 | ||
傳輸輸出 | RS-232C | ||
報(bào)警輸出 | FAIL(設(shè)備錯(cuò)誤) | 1分 | 無電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC/AC以下,0.5A以下 因設(shè)備異常接點(diǎn)閉合(接點(diǎn)動(dòng)作可變更) |
ALM(濃度報(bào)警) | 2 分 (L / LL) | 非電壓觸點(diǎn),觸點(diǎn)容量30VDC / AC或更少,0.5A或更低 時(shí)產(chǎn)生警報(bào)(接觸操作可改變)觸點(diǎn)閉合 | |
RDY(預(yù)熱信號) | 1分 | 無電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量 30VDC/AC 以下,0.5A 以下 預(yù)熱運(yùn)行時(shí)接點(diǎn)閉合(接點(diǎn)動(dòng)作可變更)
| |
MRK(范圍標(biāo)記)輸出 | 2分 | 無電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC/AC以下,0.5A以下 | |
熱身時(shí)間 | 5分鐘內(nèi) | ||
尺寸 | 身體 | 240 (W) x 134 (H) x 210 (D) mm(不包括突出部分) | |
大量的 | 約5公斤 | ||
氣體 連接口 | 進(jìn)口 | RC1 / 8 | |
旁路輸出 | RC1 / 8 | ||
出口 | RC1 / 8 | ||
使用的電源 | 24VDC ± 10%, 1.25A (30VA, 穩(wěn)態(tài)) |
低濃度測量 可測量從
ppb級到100%
操作簡單
按鍵操作簡單
吹掃功能
比較 氣體更穩(wěn)定,測量精度更高(僅限帶吹掃功能的規(guī)格)。
高可靠性傳感器 傳感器
內(nèi)部也可進(jìn)行劣化防止處理(可選)
測量原理 | 氧化鋯濃縮電池供電 | ||
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形狀 | 桌面型/面板安裝型 | ||
顯示方式 | 數(shù)字6位顯示(濃度顯示) | ||
測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm 自動(dòng)/固定量程 | ||
重復(fù)性 | 氧濃度在±1%FS以內(nèi),小于1ppm和0-1ppm,atm范圍在保證濃度范圍之外 | ||
抽樣方法 | 內(nèi)置泵連續(xù)吸入型 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 加壓30KPa以下 | |
流量 | ~ 1,500 毫升/分鐘 | ||
濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 | ||
溫度 | 0-50℃ | ||
其他 | 不得含有腐蝕性氣體(氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等)、含有機(jī)硅的氣體、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。 | ||
比較氣體 | 大氣層 | ||
錄音機(jī) 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 4-20mA / 0-10V 4-20mA : 絕緣,負(fù)載電阻 600Ω 或更小 0-10V: 絕緣,負(fù)載電阻 500Ω 或更大 記錄儀輸出范圍是滿量程,線性輸出到氧濃度 | |
輸出范圍 | 0-100%, 0-10%, 0-1%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm, 0-1ppm, 10 -20 -10 -0 或自動(dòng)/固定量程的任意4個(gè)量程 | ||
傳輸輸出 | RS-232C | ||
報(bào)警輸出 | FAIL(設(shè)備錯(cuò)誤) | 1分 | 無電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量24VDC/AC以下,0.1A以下 因設(shè)備異常接點(diǎn)閉合(接點(diǎn)動(dòng)作可變更) |
ALM(濃度報(bào)警) | 2分 | 無電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量 24VDC/AC 以下,0.1A 以下 接點(diǎn)在發(fā)生警報(bào)時(shí)閉合(接點(diǎn)動(dòng)作可變更) | |
RDY(預(yù)熱信號) | 1分 | 無電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量 24VDC/AC 以下,0.5A 以下 預(yù)熱動(dòng)作時(shí)接點(diǎn)閉合(接點(diǎn)動(dòng)作可變更)
| |
MRK(范圍標(biāo)記)輸出 | 3分 | 無電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量24VDC/AC以下,0.1A以下 | |
熱身時(shí)間 | 20分鐘內(nèi) | ||
尺寸 | 身體 | 288 (W) x 144 (H) x 400 (D) mm(不包括突出部分) | |
大量的 | 約10公斤 | ||
氣體 連接口 | 進(jìn)口 | RC1 / 8 | |
旁路輸出 | RC1 / 8 | ||
出口 | RC1 / 4 | ||
使用的電源 | 100-120VAC ± 10% 200VA 50Hz / 60Hz |
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