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技術(shù)文章

非接觸式膜厚測量系統(tǒng)FF8的特點

非接觸式膜厚測量系統(tǒng)FF8的特點

特征

  1. 測量樣品的反射率(干涉波形),并通過FFT(快速傅里葉變換)或其他方法分析薄膜厚度值。

  2. 除了薄膜厚度測量外,還可以測量薄膜和玻璃厚度以及折射率。 選項包括多層薄膜、曲線擬合、顯微鏡、映射測量、顏色測量和組分濃度分析。

  3. 測量數(shù)據(jù)可以保存為文件,以后重新分析。

  4. 由于還可以制造連續(xù)測量功能、橫移機構(gòu)和數(shù)據(jù)通信功能,因此也可以用作在線薄膜厚度測量。

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測量范圍
(分辨率)
0.01微米~50微米(0.1納米)
0.5微米~50微米(0.1納米)
1微米~200微米(0.001微米)
4微米~800微米(0.001微米)









Si02薄膜的測量示例(薄膜厚度:500nm)


乙烯基的測量示例(厚度:11μm)
氧化鋁膜的測量示例(膜厚:10μm)
印刷電路板抗蝕膜的測量示例



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