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產(chǎn)品資料
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日本芝浦機(jī)電shibaura皮拉尼真空計傳感器

產(chǎn)品名稱: 日本芝浦機(jī)電shibaura皮拉尼真空計傳感器
產(chǎn)品型號: GP-1
產(chǎn)品特點(diǎn): 日本芝浦機(jī)電shibaura皮拉尼真空計傳感器GP-1
傳感器單元GP-1是皮拉尼壓力計,可測量3,000Pa至0.4Pa。
通過從常規(guī)控制器上拆下操作/顯示部分并將功能縮小到所需的低限度,該真空計可以“降低成本"和“節(jié)省空間"。

日本芝浦機(jī)電shibaura皮拉尼真空計傳感器 的詳細(xì)介紹

日本芝浦機(jī)電shibaura皮拉尼真空計傳感器GP-1

日本芝浦機(jī)電shibaura皮拉尼真空計傳感器


傳感器單元GP-1是皮拉尼壓力計,可測量3,000Pa至0.4Pa。
通過從常規(guī)控制器上拆下操作/顯示部分并將功能縮小到所需的低限度,該真空計可以“降低成本"和“節(jié)省空間"。

GP-1功能

  • 換能器規(guī)格:壓力指示器是不必要的,如果
    降低成本的隔距
    節(jié)省空間和控制基板周圍
    的減小的布線
    實(shí)現(xiàn)這樣

  • 可維護(hù)性:易于更換探頭

  • 燈絲材料:采用的鉑(Pt)
    具有高耐腐蝕性的鉑用于燈絲材料。

  • 可以與WP系列接觸點(diǎn)一起使用:您一直使用的接觸點(diǎn)可以原樣使用

  • 控制輸出信號:可輸出2個設(shè)定點(diǎn)

  • 測量值輸出信號:壓力為0-5V輸出(非線性輸出)

  • 電源電壓:可通過DC24V輸入進(jìn)行操作

用途

  • 用于各種制造設(shè)備(包括半導(dǎo)體和電子零件)的低真空區(qū)域中的過程控制

  • 用于各種工業(yè)設(shè)備(例如熔爐)的低真空區(qū)域中的過程控制

  • 用于在具有多個處理室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域中進(jìn)行處理控制,例如在線型和單板型

日本芝浦機(jī)電shibaura皮拉尼真空計傳感器GP-1

規(guī)范

類型傳感器單元
模型GP-1
自適應(yīng)探頭WP-01,WP-02,WP-03,WP-16
測量壓力范圍4.0 x 10 -1?3.0 x 10 3
測量精度±15%(51 Pa至760 Pa)
±30%(10 Pa至1,000 Pa)
±50%(0.4 Pa至3,000 Pa)
工作溫度極限10-40°攝氏度
采樣時間50毫秒5次移動平均處理
測量值輸出
非線性輸出:DC 0-5 V(大10 V)
更新時間50毫秒
解析度10毫伏
設(shè)定值1/2調(diào)整輸出非線性輸出:DC 0-5 V(大10 V)
控制輸出信號集電極開路,負(fù)邏輯
錯誤信號
設(shè)定點(diǎn)1/2
LED顯示屏功率,誤差,設(shè)定值1/2
電源電壓直流24 V±2 V,90 mA
I / O連接器D-sub-15P(M2.6螺絲)
身體質(zhì)量190克(不含探針)
配件I / O連接器1套
使用說明書1份

IO,模擬GND和電源GND沒有隔離。


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