日本shibaura擴(kuò)散油真空泵ESV系列（小型）

使用例

• 各種真空爐
• 各種實(shí)驗(yàn)的排氣裝置
• 管材制造設(shè)備
• 各種成膜設(shè)備
• 電子束焊接
• 電子顯微鏡

ESV系列陣容

• [ESV-3]

  

  帶擋板和油

  

• [ESV-4]

  

  帶擋板和油

  

• [ESV-6]

  

  帶擋板和油

  

• [ESV-8]

  

  帶擋板和油

  

• [ESV-10]

  

  帶擋板和油

  

• [ESV-12]（定做）

  

  帶擋板和油

  

*規(guī)格和建議零售價(jià)如有變更，恕不另行通知。

預(yù)防措施

• 我們的油旋轉(zhuǎn)真空泵是根據(jù)以下用途設(shè)計(jì)和制造的。
  （1）進(jìn)氣類型空氣和惰性氣體（N ₂，CO ₂，He，Ne，Ar，Xe，Rn ...）
  （2）進(jìn)氣溫度5-40 ℃ 
  （3）環(huán)境溫度5- 40°C 
  （4）常壓10 ^-6至0.4Pa 
    *如果與上述用法不同，請(qǐng)與我們聯(lián)系，因?yàn)檫@可能會(huì)導(dǎo)致泵故障。
• 排出腐蝕性氣體（Cl ₂，CCl ₄，CF ₄，BBr ₄，HBr等）時(shí)，可能會(huì)發(fā)生油質(zhì)劣化或未達(dá)到極限壓力的零件腐蝕，從而延長(zhǎng)泵的使用壽命請(qǐng)注意，將會(huì)縮短。
• 本目錄中的性能表會(huì)根據(jù)我們的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)量測(cè)試和檢查。
  因此，它與設(shè)備內(nèi)置的性能值不同。
• ESV-12或更高版本的油擴(kuò)散真空泵涂有耐熱銀粉。
• 擴(kuò)散油當(dāng)
  使用標(biāo)準(zhǔn)擴(kuò)散油以外的擴(kuò)散油時(shí)，擴(kuò)散油的
  比熱可能會(huì)不同，因此可能無法發(fā)揮出油擴(kuò)散真空泵的原始性能。
• 泵冷卻將
  油擴(kuò)散真空泵的冷卻水溫度作為參考，在5至25°C的范圍內(nèi)。
  如果冷卻水的溫度過高，將無法有效地冷卻以蒸汽噴射方式噴射到泵內(nèi)壁的機(jī)油，這會(huì)影響泵的性能，例如增加機(jī)油的反向流量。
  另外，為了保證冷卻水的質(zhì)量，請(qǐng)使用制量醉高的水。
  如果使用水質(zhì)較差的水，則泵冷卻導(dǎo)管的內(nèi)部將被堵塞，并且異常高的溫度將引起諸如泵性能差和冷卻導(dǎo)管焊接不冷卻之類的問題。
  作為一種措施，當(dāng)冷卻管內(nèi)部發(fā)生堵塞，且冷卻水不流動(dòng)時(shí)，請(qǐng)使用市售的管道清潔劑等，并清除內(nèi)部堵塞。
  如果上述措施仍不能解決問題，則需要更換冷卻導(dǎo)管，請(qǐng)與我們聯(lián)系。
  *在寒冷地區(qū)使用后請(qǐng)除去水。它可能會(huì)凍結(jié)并損壞。
  *如果還有其他疑問，請(qǐng)與我們聯(lián)系。

 日本shibaura擴(kuò)散油真空泵ESV系列（小型）